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宮田 登; 石川 禎之*; 柳原 美広*; 渡邊 誠*
Photon Factory News, 18(2), p.25 - 29, 2000/08
軟X線発光分光はプローブである軟X線の脱出深さが比較的長く、固体中の十分深い箇所からの発光が観測できるので、表面に依存しない、物質内部の結合状態を評価できる手法である。特に放射光による大強度単色軟X線で励起した場合には、用いる波長により特定の物質を励起できることもあり、2つの物質が接した際の境界面である「埋もれた」界面の結合状態を効率的に、試料を破壊することなく評価することができる。この手法により、近年軟X線光学や半導体製造技術で注目されているMoとSiの「埋もれた」界面の結合状態を評価した。Si膜厚の異なる5種類の多層膜試料を用意し、それらからのSiI
発光スペクトルの測定を行い、それらを参照試料からのスペクトルと比較し。その結果、界面ではMo
Siが約8
できていることを示した。さらに、この多層膜をアニールすると界面層はMoSi
に変化することを示した。
武田 全康
no journal, ,
X-ray and neutron reflectometer have now widely used for the structural analysis of a surface and interfaces inside thin films and multilayers. Neutron is an ideal probe for the reflectometry because of its transparency for most of materials, its sensitivity to light elements, and magnetic moments in the materials. The neutron reflectometers SOFIA and SHARAKU have been installed at Materials Life Science Facility (MLF) of Japan Proton Accelerator Research Complex (J-PARC) where the most intense pulsed neutron in the world is available. This is a brief introduction of the neutron reflectometery and a report of current activity of the reflectometers in J-PARC.
武田 全康
no journal, ,
中性子反射率法は、ナノスケールの多層構造物質中に埋もれた界面の構造を調べることのできる非破壊的な構造解析手法である。その応用範囲は、磁性多層膜、高分子多層膜、生体膜、接着界面、電極界面など応用上重要なもの多岐に及ぶ。本講演では、中性子反射率法で何がわかるのかを具体的に紹介するとともに、日本原子力研究開発機構が有する2台の中性子反射率計について紹介する。